当社は、令和5年度関東地方発明表彰（主催 公益社団法人発明協会）において、発明奨励賞を受賞しました。
レーザ照射装置、半導体装置の製造方法、及び、レーザ照射装置の動作方法（特許第6764305号）
2023年11月29日（水）ホテルアソシア静岡（静岡県静岡市葵区黒金町56）
レーザアニール装置において、レーザ照射部のビーム形状を計測することが理想とされています。しかし、一般的なガラス基板浮上搬送ステージは、レーザ照射部下部にあたる浮上ステージが固定されているため、ビーム形状を測定する機器を配置することができませんでした。そこで、本発明では、レーザ照射部直下の浮上ステージを可動式にし、照射部から退避させることで、レーザ照射部でのビーム形状計測が可能となり、当社はより信頼性の高いフロート式レーザアニール装置を提供できるようになりました。
