当社は、令和6年度関東地方発明表彰（主催 公益社団法人発明協会）において、発明奨励賞を受賞しました。
レーザ照射装置（特許第7306860号）
2024年11月15日（金）ANAクラウンプラザホテル新潟（新潟市中央区万代5-11-20）
レーザアニール装置において、レーザ照射部の雰囲気を安定化させることは高品質なプロセス結果を得るために極めて重要です。そこで、本発明により照射部の雰囲気を極めて安定した状態を形成することが可能となり、従来のレーザアニール装置よりも更に高品質かつ信頼性の高いフロート式レーザアニール装置を提供できるようになりました。
